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| 所属地区 | 四川 | 加入时间 | 2019/12/30 |
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| 招标业主单位 | 四*** [登陆后查看] | ||||
| 中标单位 | ******* [登陆后查看] | ||||
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中标结果正文
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招标业主单位：四*** >>登陆后查看
| 项目名称 | 反应阴极等离子体沉积系统 | 项目编号 | ZBZX-JJ *** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | *** * : * : * | 公告截止日期 | *** * : * : * |
| 采购单位 | (略) | 付款方式 | 进口设备： (略) (略) 签订代理进口委托协议后，将进口项 (略) (略) 账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。 (略) 收到 * 方合同货款后，按外贸合同 (略) 与 * (略) 的付款义务。 国产设备： * 方应在完成验收并建立固定资产后向 * 方 * 次性支付本合同的总款项， * 方须向 * 方出具合法有效完整的完税发票及 (略) 支付结算。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后 * 个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后 * 个工作日内 |
| 预 算 | ￥ * , * . * | ||
| 收货地址 | * 川省 (略) 市望江路 (略) 材料科学系 望江校区第 * 理科楼 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件 |
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采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 反应阴极等离子体沉积系统 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 捷造光电 |
|---|---|
| 型号 | RTP- * |
| 预算 | ￥ * , * . * |
| 技术参数及配置要求 |
1 设备名称：空心阴极离子镀膜系统 2 主要功能：提供在较高真空环境下，在衬底上制备均匀的损伤低的薄膜材料。应用于薄膜太阳能电池、发光器件、探测器等光电器件的制备，金属电极的制备。 3 主要技术参数及要求 ★3.1 工作原理：采用等离子体产生器，通过氩离子来激发低能量 (略) 度的电子束， (略) 将此电子束聚焦到坩埚表面，将坩埚内的材料直接升华成气相，被高度游离化的材料离子在衬底表面再结合，形成高质量的薄膜。 ★3.2 设备组成和真空系统 设备由主机、电控柜和循环冷水机组成。主机由前后开门真空室，空心阴极离子枪，磁聚焦水冷坩埚，旋转悬浮工件架，气动挡板机构，机架单元，冷却水系统，压缩空气系统，流量控制系统，真空系统等组成。 真空系统采用高性能泵组结构，1小时内小于等于8× * -4Pa；腔体的真空极限优于8× * -5Pa，真空室升压率≤0.8Pa/h。具有旁路抽气系统，可实现不停分子泵的情况下对 (略) 充气，并打开舱门,更换镀料和基片。配有气动可调角度光阑阀，直径 * mm。 ★3.3 (略) 分：前后两个门，前门配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，外壁水冷；前门采用铝合金，适配手套箱。真空室尺寸： * × * × * mm（L×W×H）；主机尺寸： * × * mm（L×W×H）；控制柜尺寸： * × * （L×W×H）。 ★3.4 电气控制系统：采用计算机与PLC构成上下位机控制结构，对基片旋转系统，真空系统，工艺气 (略) 控制。具有多级报警，互锁保护，多种操作权限等功能。 ★3.5 空心阴极枪：水平外装于真空室左侧两级加速极，永磁+电磁聚焦钽管和热屏蔽可换结构主放电电源大于5kW，最大电压 * V，电流≥ * A；启动电源电压DC * V，电流5A；聚焦电源电压DC * V，电流2A；偏转电源电压DC * V，电流3A。 ★3.5 坩埚和衬底：水冷坩埚尺寸约Φ * × * （mm）；衬底尺寸为 * mm× * mm，配有旋转工件架，公转转速～ * rpm，偏心安装～ * mm，采用磁流体密封。气动挡板采用磁流体密封。 ★3.6 工作气体：真空室采用2路MFC（Ar * ,O * sccm）；空心阴极离子枪采用 1路MFC（Ar * sccm）。 ★3.7 真空测量：采用INFICON进口冷阴极电离规测量高真空，INFICON进口皮拉尼电阻规低测量低真空。 4 交货时间： * 川省 (略) 望江校区，合同生效后 * 天内供货并安装调试完毕。 5 付款方式：货到验收通过后付全款 6 设备工作环境：电源为 * 相 * 线供电 * V、 * KVA。环境温度5℃～ * ℃。 |
| 售后服务 | (略) 点:外地;电话支持:7x * 小时;服务时限:报修后 * 小时;质保期: * 年; |
(略)
*** * : * : *
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